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卷对卷柔性薄膜沉积设备 MVS
- 品牌:美国MVSystems
- 型号: Reel to Reel Cassette System
- 产地:美国
- 供应商报价: 面议
- 上海瞬渺光电技术有限公司 更新时间:2022-01-12 15:50:35
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企业性质
入驻年限第10年
营业执照
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- 详细介绍
卷对卷柔性薄膜沉积设备
Cassette houses flexible material
卷筒用于装载柔性衬底材料
Cassette transported from one process chamber to another via a robotic handler
制备薄膜时,卷筒可由真空机器手从一个腔室输送至另一个腔室
Advantages 此沉积系统的优点
- Eliminates cross-contamination 在制备多层膜器件时消除了交互掺杂影响
- Flexibility to adjust parameters on any part of the process. 制备薄膜时,能灵活控制各种运转沉积参数
- Down time reduced, i.e. each chamber can be serviced independently 因每个腔室可单独维护,减少了停机非运转时间
Reel to Reel Cassette Cluster tools
Cluster tool w/ 8 port locations
具有8个腔室的团簇型沉积系统
15cm and 30cm webwidth
柔性衬底的宽度可从15cm至30cm
Computer controlled
可完全由电脑程序控制操作运行
PECVD, HWCVD and Sputter capability
制备方式包括等离子体和热丝化学气相沉积,及溅射
(US patent #6,258,408B1)
(本产品获美国ZL#6,258,408B1)
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