电子枪/光刻-低纹波高压电源

典型应用

电子束光刻

半导体检测

扫描电子显微镜

TYPICAL APPLICATIONS
Electron-Beam Lithography
Semiconductor Inspection
Scanning Electron Microscopes

EGM是威思曼高压电源提供的高稳定性，低纹波电子枪高压电源，EGM集成悬浮的灯丝电源和有源偏置电源，全数字化测控。有过压、过流、拉弧保护。

特性：

束能量
输出电压：-50kv-0可调。（其他输出电压可根据要求）

输出电流：500A最大。

电压调整率：<10 ppm 输入变化10%

电流调整率：<10 ppm

稳定性：<2.0ppm/48小时/ 0.5°C

预热时间：5小时完全稳定性。

纹波和噪声：<2.5ppm。

灯丝电源
最大功率：10W，最大电流2A,最大电压10V
电压调整率：<10 ppm 输入变化10%

电流调整率：< 5%功率变化的可能性，4-7瓦（1欧-7欧）

漂移：<50ppm/ 12小时/ 0.5°C 预热后

预热：< 3小时完全稳定性

纹波和噪声：< 0.1%（工作频率），<50ppm（10到3千赫）
显示:
+1.00V 等于 10W
稳定性：100ppm
精度：0.5%

有源偏置

电压范围：

低：- 200 -1100参考长丝中心抽头

高：- 200 -2000号灯丝中心抽头

温度系数：<100 ppm/°C

发射控制：0至500A

监测：

100 ppm的稳定性

0.1%的准确度

输入：AC90-265V 47Hz到63Hz
温度: 使用温度: 20°C到25°C. 储存温度: -10°C到70°C.
湿度: 10 to 70% 不结露.

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威思曼高压电源有限公司是世界具有领导地位直流高压电源和一体化X射线源供应商，同时提供标准化产品和定制设计服务。产品广泛应用于医疗,工业,半导体,安全,分析仪器，实验室以及海底光纤等设备。集设计，生产和服务为一体的工厂分布于美国，英国，及ZG等地，并且我们销售中心遍布于欧洲，北美洲以及亚洲，我们将竭诚为您服务!