高分辨率微流控UVK3紫外线曝光机

UVK3有一个完全自动的紫外线曝光室，可产生角度小于2°的高度准直的紫外线。使用UV LED，无需加热或冷却时间，并且LED灯的使用寿命超过10000小时。智能化的操作界面简化了紫外曝光的操作过程，您只需要按照屏幕上的指示进行操作即可。UVK3紫外曝光机的分辨率为2μm，可满足95%的微流体应用。

优势
（1）高分辨率低至2μm
（2）高紫外线功率曝光
（3）完全可调的时间和功率
（4）易于使用
（5）提供软光刻工艺的全部知识

技术支持
我们为我们供应的所有设备提供高水平的技术支持，同时也为紫外曝光前后的相关微加工步骤提供支持。除了在整个过程中帮助您提供一部分支持外，我们还可以在所有加工过程中为您提供指导。

技术规格
（1）UVK3通常适用于4英寸晶圆，但可用于较小的基板。
（2）可以使用塑料面罩粘贴在纯硼硅玻璃上
（3）UVK3可与5英寸玻璃面罩配合使用，但如果需要，可添加4英寸适配器。
（4）UVK3可以以连续或脉冲的模式工作
（5）标称功率约为50mW/cm2，可根据用途在0%到100%之间进行调整。
（6）设备内部安装有一个紫外线计，可以随时控制紫外灯的功率。