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驰奔DESK-V小型离子溅射仪

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详细介绍

DESK-V TSC型小型离子溅射仪,采用磁控溅射方式,广泛用场发射扫描电镜或透射电镜样品制备或高质量镀膜试验。采用ZL的阳极保护栅网,实现镀膜过程中样品表面保持常温状态,没有热损伤。该溅射仪具有样品等离子清洗刻蚀功能,可选配蒸碳附件。

主要功能:


1、离子溅射镀膜


2、样品等离子刻蚀清洗


3、蒸碳镀膜


主要特点:


主要特点:


1、大的溅射样品室,获得更稳定的真空环境,镀膜质量更高。


2、对样品无热损伤的冷溅射。


3、样品等离子刻蚀功能,一个手动控制挡板降低样片在刻蚀过程中受到的污染。


4、基于PLC的强大控制系统,全部触摸屏操作,可手动、半自动控制、全自动控制。


5、具有高压真空互锁安全机制


6、标准的操作软件,实时监控各部件状态,方便技术支持,节约用户费用。




性能指标:


标准配置


样品室: φ150mm X 150mm(H) 耐热玻璃真空室


靶: 金GOLD或金钯合金GOLD/PALLADIUM(随机)φ50mmX0.1mm


样品台: φ50mm 旋转样品台


溅射电流: 0-100mA


真空规: 皮拉尼


溅射气体: 空气或氩气


真空泵: 85L/Min 机械泵




选配


膜厚监控: 石英晶体膜厚监控器


样品台: φ75mm 旋转样品台


φ100mm旋转样品台(选此台,膜厚监控器无法安装)


旋转倾斜样品台 (选择此台,无法实现样品刻蚀功能)


蒸碳附件: 碳棒或碳丝绳


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