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日立高新技术2019再创佳作 VS1800纳米尺度3D光学干涉测量系统震撼上市

上市时间:2019年03月05日
产品类别:干涉仪/激光干涉仪/白光干涉仪
品牌:日立
型号:VS1800
产品详情

纳米尺度3D光学干涉测量系统 VS1800

品牌:日立
型号:VS1800
供应商:日立仪器(上海)有限公司

创新点

【整机创新】

相比较利用光干涉原理的白光干涉扫描显微镜,纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800,使用更方便,测量精度跟高,测量范围更大。

采用独创的算法,实现垂直方向分辨率0.01 nm(Phase模式下)。由于无需依赖于物镜的倍率即可实现较高的垂直方向分辨率,即使是大范围(最大测量视野6.4 mm × 6.4 mm)的情况下,也能测量纳米尺度的粗糙度、高差。

【智能化、自动化程度提升】

搭载有可直观性使用的操作画面,可以当场确认处理后的图像。可以简单地将处理及分析内容列表、生成原始分析库、重复使用分析库等。还支持数据的批量处理,统一管理多个样品及分析结果,减轻繁杂的后处理程序。
此外,导入表面形貌评估方法的国际标准ISO25178的项目,自动按每个样品选择合适的参数。VS1800搭载有可对参数选择提供建议的工具,有助于提高管理的精度。

【外形优化】

手动XY样品台为基本型号Type 1,并提样品台电动化逐级提升的Type 2以及Type 3。各型号的升级可通过需求来进行,根据用途轻松引进系统。


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