电子探针/X射线微区分析仪
是一种利用电子束作用样品后产生的特征X射线进行微区成分分析的仪器,可以用来分析薄片中矿物微区的化学组成。除H、He、Li、Be等几个较轻元素外,还有U元素以后的元素以外都可进行定性和定量分析。可以对试样中微小区域的化学组成进行定性或定量分析。可以进行点、线扫描、面扫描分析。还能全自动进行批量定量分析。
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