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英国Oxford 等离子增强化学气相沉积 Plasmalab System100
品牌:牛津仪器
型号:Plasmalab System100
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超高真空多腔室物理气相沉积系统
品牌:美国PVD
型号:4000
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热舟蒸发源 / K Cell
品牌:德国tectra
型号:K Cell
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电子束蒸发源
品牌:德国tectra
型号:DZSZFY
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NPE-3500 PECVD等离子体化学气相沉积系统
品牌:美国Nano-Master
型号:NPE-3500PECVD
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德国IPLAS 微波等离子化学气相沉积系统CYRANNUS
- 品牌:德国iplas
- 型号: iplas 微波等离子化学气相沉积系统
- 产地:德国
德国IPLAS MPCVD CYRANNUS® 专 利技术微波等离子化学气相沉积系统,广泛应用于第四代半导体,射频器件,散热器件,光学窗口等高科技令域。晶圆生长金刚石膜,是第四代半导体材料。
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德国iplas微波等离子化学气相沉积 iplas Mpcvd 915MHz 系统
- 品牌:德国iplas
- 型号: iplas Mpcvd 915MHz
- 产地:德国
德国iplas微波等离子化学气相沉积 iplas Mpcvd 915MHz 系统,德国 iplas公司的独家专利多天线耦合微波等离子技术(CYRANNUS®),可在反应腔中实现极高的 SP3 键转化率,使得腔体中充满过饱和原子氢和含碳基团,从而有效地提高了沉积速率并且使得金刚石的沉积质量得到改善,这正是获取优质金刚石的技术基础。
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德国iplas微波等离子化学气相沉积 Cyrannus 1-6" 2.45GHz系统
- 品牌:德国iplas
- 型号: Cyrannus 1-6" 2.45GHz系统
- 产地:德国
德国iplas微波等离子化学气相沉积 Cyrannus 1-6" 2.45GHz系统,德国 iplas公司的独 家 专 利多天线耦合微波等离子技术(CYRANNUS®),可在反应腔中实现极高的 SP3 键转化率,使得腔体中充满过饱和原子氢和含碳基团,从而有效地提高了沉积速率并且使得金刚石的沉积质量得到改善。
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德国iplas微波等离子化学气相沉积 Cyrannus 1-16" 915MHz 系统
- 品牌:德国iplas
- 型号: Cyrannus 1-16" 915MHz 系统
- 产地:德国
德国iplas微波等离子化学气相沉积 Cyrannus 1-16" 915MHz 系统,德国 iplas公司的独 家专 利多天线耦合微波等离子技术(CYRANNUS®),可在反应腔中实现极高的 SP3 键转化率,使得腔体中充满过饱和原子氢和含碳基团,从而有效地提高了沉积速率并且使得金刚石的沉积质量得到改善,这正是获取优质金刚石的技术基础。
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德 Iplas 微波等离子化学气相沉积
- 品牌:德国iplas
- 型号: Iplas
- 产地:德国
德 Iplas 微波等离子化学气相沉积技术,通过等离子增加前驱体的反应速率,降低反应温度。适合制备面积大、均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量硬质薄膜和晶体。
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微波等离子化学气相沉积系统-MPCVD
- 品牌:德国iplas
- 型号: iplas CYRANNUS
- 产地:德国
1. CYRANNUS®技术无需在样品腔内安装内部电极,在沉积腔内,没有工作气体以外的任何物质,洁净,无污染源。等离子发生器可以保持长寿命,并可以确保腔内的等离子体的均匀分布,进一步生成晶体的纯净度和生长周期。 2. CYRANNUS®技术的腔外多电极设置,确保等离子团稳定生成于腔内ZX位置,对腔壁、窗口等无侵蚀作用,减少杂质来源,提高晶体纯度。由CYRANNUS®系统合成的金刚石,纯度均在VVS级别以上。
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微波等离子化学气相沉积系统
- 品牌:德国iplas
- 型号: CYRANNUS
- 产地:德国
微波等离子化学气相沉积系统-MPCVD 宝石级大尺寸单晶金刚石制备系统 微波等离子化学气相沉积技术(MPCVD), 通过等离子增加前驱体的反应速率,降低反应温度。适合制备面积大、均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量硬质薄膜和晶体。 MPCVD是制备大尺寸单晶金刚石有效手段之一。德国iplas公司ZL的 CYRANNUS 等离子技术解决了传统等离子技术的局限,可以在10mbar到室压范围内激发高稳定度的等离子团,大限度的减少了因气流、气压、气体成分、电压等因素波动引起的等离子体
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