气体质谱仪/在线质谱仪气体质谱仪/在线质谱仪多用于生产研究之中来监测气体和进行过程分析。气体质谱仪/在线质谱仪应用的领域十分广泛:如真空科学工业中高真空、超高真空系统和器件中的气体分析,航天航空工业中燃料箱、发动机、密封仓安全检漏、多种气体分析;土壤、水质、空气质量分析以及表面科学分析、痕量气体分析、催化反应监测、石油化工、冶金、热重仪器的气体分析等多个方面。
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气体质谱仪/在线质谱仪产品列表
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在线质谱仪
- 品牌:日本麦奇克拜尔
- 型号: BELMASS II
- 产地:日本
• 桌面四级杆质谱分析仪 • 管理加热功能确保蒸汽分析 • 定性和定量分析功能
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岛津DPiMS-2020原位探针离子化质谱仪
- 品牌:日本岛津
- 型号: DPiMS-2020
- 产地:日本
岛津原位探针离子化质谱仪DPiMS-2020 是基于岛津单四极质谱分析仪LCMS-2020同时配备探针电喷雾离子源为一体的新型质谱分析仪。该仪器通过精密的探针取样式设计在无需样品制备的情况下实现快速便捷的样品分析。技术基于探针电喷雾离子化技术及原理(PESI)适用于化工领域,食品和生物制品领域中样品无样品制备条件下的快速质谱分析。
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Atonarp 适用于半导体过程控制在线质谱仪 Aston™
- 品牌:日本Atonarp
- 型号: Atonarp
- 产地:日本
Aston™ 特性 实时过程控制的通用工具, 耐腐蚀性气体, 抗冷凝 半导体制造的分子分析原位平台, 提供实时, 可操作的数据 采用等离子体电离源, 无灯丝, 更耐用 可与大批量生产工具完全集成 Aston™ 作为一个强大的平台, 可以取代多种传统工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.
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Atonarp 半导体过程监控在线质谱仪
- 品牌:日本Atonarp
- 型号: Aston™
- 产地:日本
上海伯东代理日本 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™, 通过使用分子传感技术, 提供半导体制程中 ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控, 诊断, 为半导体过程控制提供解决方案, 提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率, 在现有生产工艺工具上加装 Aston, 可在短时间内实现晶圆更高产量!
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