二次离子质谱仪
是用来检测材料的一种仪器,即是利用离子束把待分析的材料从表面溅射出来,然后再检测出离子组分并进行质量分析,是对微粒进行同位素分析的有力工具,是利用质谱法分析初级离子入射靶面后,溅射产生的二次离子而获取材料表面信息的一种方法。
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