分子束外延系统
就是在超高真空系统中把所需要的结晶材料放入到喷射炉中,将喷射炉加热。使结晶材料形成分子束,从炉中喷出后,沉积在温度保持在几百度的单晶基片上。利用分子束外延不仅制取了双质结激光器、三维介质集成光波导,还可以用此法使二种光波导重叠地生长在同一基片上,制成了从一个波导移向另一个波导的锥形辋合器,其耦合系数接近于100%。
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