四探针测试仪/四探针系统
是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成。适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
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