离子减薄仪

应属于离子束加工的范畴。其方法是用高能离子束轰击样品表面、高能离子与样品表面原子发生弹性碰撞、样品表面原子能量增大至高于该原子的逸出功时，便飞离样品，这样就使样品表面不断失去原子——减薄。离子减薄过程必须在真空状态下进行，离子减薄技术将在地矿和骨科研究领域得到更广范的应用，从而带动透射显微学在上术领域得到更大的发展。