电子背散射衍射系统EBSD

主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射。应用：织构和取向差分析；晶粒尺寸及形状分布分析；晶界、亚晶及孪晶界性质分析；应变和再结晶的分析。主要应用是取向和取向差异的测量、微织构分析、相鉴定、应变和真实晶粒尺寸的测量。