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ES01 快速摄谱式 自动变角度光谱椭偏仪
品牌:北京赛凡
型号:ES01
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Film Sense FS-1多波长椭偏仪
品牌:美国Film Sense
型号:FS-1™
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德国Sentech红外光谱椭偏仪SENDIRA
品牌:德国Sentech
型号:SENDIRA
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椭偏在线监测装备
品牌:沈阳科晶
型号:PMS
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椭偏仪 QUASAR-E100系列
品牌:上海晶诺微
型号:QUASAR-E100
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HORIBA 研究级经典型椭偏仪 UVISEL Plus
- 品牌:日本堀场
- 型号: HORIBA UVISEL
- 产地:日本
椭圆偏振光谱是一种无损无接触的光学测量技术,基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变,通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等,可测厚度范围为几埃至几十微米。此外,还可以测试材料的反射率及透过率。
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HORIBA 研究级经典型椭偏仪 UVISEL Plus
- 品牌:日本堀场
- 型号: HORIBA UVISEL
- 产地:日本
椭圆偏振光谱是一种无损无接触的光学测量技术,基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变,通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等,可测厚度范围为几埃至几十微米。此外,还可以测试材料的反射率及透过率。
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HORIBA 真空紫外椭偏仪 UVISEL 2 VUV
- 品牌:日本堀场
- 型号: UVISEL 2 VUV
- 产地:日本
专为VUV 测量设计,整个系统处于真空状态,无氧气吸收。具备高度准确性的超快测量速度;快速样品室抽真空能力,方便快速更换样品;氮气消耗量少。
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HORIBA 一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE
- 品牌:日本堀场
- 型号: HORIBA Auto SE
- 产地:日本
一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。采用工业化设计,操作简单,可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。
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HORIBA 智能型多功能椭偏仪 Smart SE
- 品牌:日本堀场
- 型号: Smart SE
- 产地:日本
多功能性设计,配置灵活,具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单,快速,精确表征和分析的工具。
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HORIBA 在线椭偏仪 In-situ series
- 品牌:日本堀场
- 型号: In-situ series
- 产地:日本
在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。
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研究级经典型椭偏仪 UVISEL
- 品牌:日本堀场
- 型号: UVISEL
- 产地:法国
仪器简介: 20多年技术积累和发展的结晶,是一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型。即使在透明的基底上也能对超薄膜进行最精确的测量。采用PEM相位调制技术,与机械旋转部件技术相比,能提供更好的稳定性和信噪比。技术参数:可选光谱范围: * UVISEL Extended Range(190nm -2100 nm) * UVISEL NIR (250 nm -2100 nm ) * UVISEL VIS (210 nm -880 nm ) * UVISEL FUV(190 nm -8
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一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE
- 品牌:日本堀场
- 型号: Auto SE
- 产地:法国
全自动化&高集成度&可视化光斑一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE新型的全自动薄膜测量分析工具。采用工业化设计,操作简单,可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。1主要特点1. 液晶调制技术,无机械转动部件,重复性,信噪比高2. ZG技术成像系技术,所有样品均可成像,对于透明样品,自动去除样品的背反射信号,使得数据分析更简单.3. 反射式微光斑,覆盖全谱段,利于非均匀样品图案化样品测试4. 全自动集成度高,安装维护简便5. 一键式
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Horiba 相位调制型椭圆偏振光谱仪 UVISEL Plus
- 品牌:日本堀场
- 型号: UVISEL Plus
- 产地:法国
基于最新的电子设备,数据处理和高速单色仪,FastAcqTM技术能够为用户提供高分辨及快速的数据采集,双单色仪系统可达到0.1-2 nm。 AutoSoft软件界面以工作流程直观为特点,使得数据采集分析更加简便,易于非专业人员上手操作。
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研究级全自动椭偏仪UVISEL 2
- 品牌:日本堀场
- 型号: UVISEL 2
- 产地:法国
仪器介绍: UVISEL2是一款完全革新的全自动光谱型椭偏仪。继承并发展了经典机型UVISEL的高准确性、高灵敏度和高稳定性等技术特点的同时,配备革新的可视系统,多达8个尺寸微光斑选项,最小达35×85μm2,适用于所有薄膜材料研究领域。是目前市场上duyi无二的机型。 技术参数: 光谱范围:190-2100 nm 8种光斑尺寸: 最小35 X 85 um 探测器:3个独立探测器,分别优化紫外,可见
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智能型多功能椭偏仪Smart SE
- 品牌:日本堀场
- 型号: Smart SE
- 产地:法国
仪器介绍: 多功能性设计,配置灵活,具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单,快速,精确表征和分析的工具。 技术参数: 光谱范围:450-1000nm 多种微光斑自动选择 ZG光斑可视技术,可观测任何样品表面 CCD探测器 自动样品台尺寸:200mmX200mm;XY
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在线椭偏仪 In-situ series
- 品牌:日本堀场
- 型号: In-situ series
- 产地:法国
仪器介绍: 在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。 技术参数: 可实现快速、实时在线监测样品膜层变化 主要特点: 将激发和探测头引入生产设备,可实现: 动态模式:实时监测膜厚变化 光谱模式:监测薄膜的界面和组分
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