椭偏仪/椭圆偏振仪椭偏仪/椭圆偏振仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高,适用于超薄膜,与样品非接触,对样品没有破坏且不需要真空,使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。椭偏仪/椭圆偏振仪现在已被广泛应用于材料、物理、化学、生物、医药等领域的研究、开发和制造过程中。可测材料:半导体、介电材料、有机高分子聚合物、金属氧化物、多层膜物质和石墨烯等等。
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Bruker椭偏仪FilmTek 2000 PAR-SE
- 品牌:德国布鲁克
- 型号: FilmTek 2000 PAR-SE
- 产地:德国
Bruker椭偏仪FilmTek 2000 PAR-SE ——用于几乎所有先进薄膜或产品晶片测量的先进多模计量
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Bruker FilmTek CD椭偏仪
- 品牌:德国布鲁克
- 型号: FilmTek CD
- 产地:德国
FilmTekTM CD光学临界尺寸系统是我们解决方案,可用于1x nm设计节点及更高级别的全自动化、高通量CD测量和高级薄膜分析。该系统同时提供已知和完全未知结构的实时多层堆叠特性和CD测量。 FilmTek CD利用多模测量技术来满足与开发和生产中复杂的半导体设计特征相关的挑战性需求。这项技术能够测量极小的线宽,在低于10纳米的范围内进行高精度测量。
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Bruker 椭偏仪 FilmTek 2000M TSV
- 品牌:德国布鲁克
- 型号: FilmTek 2000M TSV
- 产地:德国
FilmTek™ 2000M TSV计量系统为半导体封装应用提供了速度和精度组合。该系统为各种封装工艺和相关结构的高通量测量提供了测量性能和精度,包括表征抗蚀剂厚度、硅通孔(TSV)、铜柱、凸块和再分布层(RDL)。
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Bruker椭偏仪FilmTek 2000 PAR-SE
- 品牌:德国布鲁克
- 型号: FilmTek 2000 PAR-SE
- 产地:德国
FilmTek™ 2000标准杆数-SE光谱椭圆偏振仪/多角度反射仪系统结合了FilmTek技术,为从研发到生产的几乎所有薄膜测量应用提供了业界领先的精度、精度和多功能性。其标准的小点测量尺寸和模式识别能力使该系统成为表征图案化薄膜和产品晶片的理想选择。 作为我们组合计量产品线(“标准杆数-SE”)的一部分,FilmTek 2000标准杆数-SE能够满足主流应用所需的平均厚度、分辨率和光谱范围之外的测量要求,并由标准仪器提供。
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