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ESS03 波长扫描时式 多入射角光谱椭偏仪
品牌:北京赛凡
型号:ESS03
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激光椭偏仪SE 400adv PV
品牌:德国Sentech
型号:SE 400adv PV
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HORIBA 智能型多功能椭偏仪 Smart SE
品牌:日本堀场
型号:Smart SE
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光谱椭偏仪
品牌:沈阳科晶
型号:SE-VM
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光伏椭偏仪
品牌:沈阳科晶
型号:SE-PV
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HORIBA 研究级经典型椭偏仪 UVISEL Plus
- 品牌:日本堀场
- 型号: HORIBA UVISEL
- 产地:日本
椭圆偏振光谱是一种无损无接触的光学测量技术,基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变,通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等,可测厚度范围为几埃至几十微米。此外,还可以测试材料的反射率及透过率。
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HORIBA 研究级经典型椭偏仪 UVISEL Plus
- 品牌:日本堀场
- 型号: HORIBA UVISEL
- 产地:日本
椭圆偏振光谱是一种无损无接触的光学测量技术,基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变,通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等,可测厚度范围为几埃至几十微米。此外,还可以测试材料的反射率及透过率。
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Accurion EP4 成像椭偏仪
- 品牌:韩国Park Systems
- 型号: Accurion EP4
- 产地:韩国
Accurion EP4成像椭偏仪Accurion EP4成像椭偏仪EP4是新一代的成像椭偏仪,它有机地结合了传统光谱椭偏仪和光学显微镜技术。这使得我们能够在小至1µm的微结构上以椭偏仪的灵敏度表征薄膜厚度和折射率。显微镜部分能够同时测量光学系统全视场范围内的所有结构。传统的椭偏仪注重于测量整个光斑,而不能实现高精度的横向分辨率,并且需要逐点测量。EP4的显微镜功能使得我们能够获得微观结构的椭偏增强对比图像。在相机的实时图像中可以看到折射率或厚度的微小变化。允许识别椭偏测量的感兴趣区域(选区测量),以
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HORIBA 真空紫外椭偏仪 UVISEL 2 VUV
- 品牌:日本堀场
- 型号: UVISEL 2 VUV
- 产地:日本
专为VUV 测量设计,整个系统处于真空状态,无氧气吸收。具备高度准确性的超快测量速度;快速样品室抽真空能力,方便快速更换样品;氮气消耗量少。
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HORIBA UVISEL Plus研究级经典型椭偏仪
- 品牌:法国HORIBA JY
- 型号: UVISEL Plus
- 产地:日本
椭圆偏振光谱是一种无损无接触的光学测量技术,基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变,通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等,可测厚度范围为几埃至几十微米。此外,还可以测试材料的反射率及透过率。
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HORIBA 一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE
- 品牌:日本堀场
- 型号: HORIBA Auto SE
- 产地:日本
一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。采用工业化设计,操作简单,可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。
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HORIBA 智能型多功能椭偏仪 Smart SE
- 品牌:日本堀场
- 型号: Smart SE
- 产地:日本
多功能性设计,配置灵活,具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单,快速,精确表征和分析的工具。
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HORIBA 在线椭偏仪 In-situ series
- 品牌:日本堀场
- 型号: In-situ series
- 产地:日本
在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。
- 椭偏仪/椭圆偏振仪
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