三维表面形貌仪
可用于物体表面三维形貌和变形测量。由于该系统既可配备10倍变焦远距离显微成像镜头,也可配备普通变焦镜头,使得该系统能同时满足细观及宏观的测量要求。不仅可用于微电子、生物、微机械等微细结构的形貌及变形测量,也可用于混凝土结构、岩土试样等大型构件表面形貌和变形测量。适用于科研院所、大专院校、计量机构和企业计量室、车间。
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