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复旦大学反应离子刻蚀中标公告

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上海市机械设备成套(集团)有限公司受复旦大学的委托,就复旦大学反应离子刻蚀项目(项目编号:1639-184211210008/1)组织采购,评标工作已经结束,中标结果如下:
【导读】上海市机械设备成套(集团)有限公司受复旦大学的委托,就复旦大学反应离子刻蚀项目(项目编号:1639-184211210008/1)组织采购,评标工作已经结束,中标结果如下:

上海市机械设备成套(集团)有限公司受复旦大学的委托,就复旦大学反应离子刻蚀项目(项目编号:1639-184211210008/1)组织采购,评标工作已经结束,中标结果如下:

一、项目信息

项目编号:1639-184211210008/1

项目名称:复旦大学反应离子刻蚀

项目联系人:魏书真

联系方式:86-21- 65642437-108

二、采购单位信息

采购单位名称:复旦大学

采购单位地址:邯郸路220

采购单位联系方式:魏书真 86-21- 65642437-108

三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期:

该设备采用反应离子刻蚀(RIE)方式实现对SiO2SiNx等介质材料和硅的干法刻蚀。反应离子刻蚀机主要由以下几部分组成:反应腔室、上电极、下电极、射频源、真空系统、气路系统、预真空室、控制系统与软件等。

四、采购代理机构信息

采购代理机构全称:上海市机械设备成套(集团)有限公司

采购代理机构地址:上海市长寿路285号恒达广场16

采购代理机构联系方式:张洁玮 陈永亮 86-21-32557719;86-21-32557775

五、中标信息

招标公告日期:20180111

中标日期:20180211

总中标金额:147.84884 万元(人民币)

中标供应商名称、联系地址及中标金额:

序号

中标供应商名称

中标供应商联系地址

中标金额(万元)

1

SENTECH   Instruments GmbH

Schwarzschildstr.2,Brrlin,Germany

147.848840

评审专家名单:

丁臻敏、朱建钢、田 震、史泰冈、周 鹏

中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求:

反应离子刻蚀;数量:1;中标价:EUR188,000.00;质保期:12个月。

六、其它补充事宜

投标人名称

SENTECH   Instruments GmbH

上海航扬电子科技有限公司

北京柯灵瑞思技术有限公司

评标价格(美元)

USD234,688.15

USD242,886.01

USD243,776.00

评标价格排序

1

2

3

 


2018-02-26 15:43:20
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