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- 【导读】“清华大学原子层薄膜沉积系统采购项目”项目(项目编号:清设招第2018295号) 组织评标工作已经结束,现将评标结果公示如下:
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“清华大学原子层薄膜沉积系统采购项目”项目(项目编号:清设招第2018295号) 组织评标工作已经结束,现将评标结果公示如下:
一、项目信息
项目编号:清设招第2018295号
项目名称:清华大学原子层薄膜沉积系统采购项目
项目联系人:杨老师,包老师
联系方式:62785713
二、采购单位信息
采购单位名称:清华大学
采购单位地址:北京海淀区清华园
采购单位联系方式:杨老师,包老师 yangjingsbc@mail.tsinghua.edu.cn
三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期:
项目用途:
主要用于采用原子层沉积的方式制备超薄、高均匀性和保型性好的各种薄膜材料,包括氮化物、金属等。
简要技术要求:
反应腔体可加热到150℃以上,载物台温度能达到500℃,温控精确度:±1℃。真空腔体外壁温度始终低于60℃。反应腔体室本底真空:≤ 1 x 10-5 mbar
采用远程等离子体方式,等离子源的射频功率连续可调,射频功率不小于600W
合同履行日期:合同签订后6个月内
四、中标信息
招标公告日期:2018年12月21日
中标日期:2019年01月11日
总中标金额:279.95 万元(人民币)
中标供应商名称、联系地址及中标金额:
中标供应商名称:北京怡通寰太进出口有限公司
联系地址:北京市西城区新街口外大街8号1幢(D座)5区302号(德胜园区)。
中标金额: 2,799,500.00人民币
本项目招标代理费总金额: 万元(人民币)
评标委员会成员名单:
缪旻、张大成、刁宏伟、王晓东(前述专家均为自选专家)、王谦
中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求:
原子层薄膜沉积系统1 套
单价:2,799,500.00人民币
服务要求:质保期:验收之日起不少于1年。
- 2019-01-18 15:10:35
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清华大学原子层薄膜沉积系统采购项目中标公告
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