X射线能谱仪

X射线能谱仪进行成分分析时，一般有三种基本的工作方式，分别为：定点分析、线扫、面扫。根据不同的测试目的，可以选择相应的分析模式。当测试样品为非均质样品时，可以使用线扫、面扫得到非常直观的结果。主要用途：1.表面定性与定量分析. 可得到小於10um 空间分辨率的X射线光电子能谱的全谱资讯.2.维持10um以下的空间分辨率元素成分包括化学态的深度分析（角分辨方式,,氩离子或团簇离子刻蚀方式）3.线扫瞄或面扫瞄以得到线或面上的元素或化学态分布.4.成像功能.5.可进行样品的原位处理 6.可进行深度分析适合：纳米薄膜材料，微电子材料，催化剂，摩擦化学，高分子材料的表面和界面研究。