电子背散射衍射系统EBSD

电子背散射衍射系统EBSD主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射。系统设备的基本要求是一台扫描电子显微镜和一套EBSD系统.EBSD采集的硬件部分通常包括一台灵敏的CCD摄像仪和一套用来花样平均化和扣除背底的图象处理系统。应用：织构和取向差分析；晶粒尺寸及形状分布分析；晶界、亚晶及孪晶界性质分析；应变和再结晶的分析；相签定及相比计算等，EBSD对很多材料都有多方面的应用也就是源于EBSP所包含的这些信息。EBSD是可以做快速而准确的晶体取向测量的强有力的分析工具。主要应用是取向和取向差异的测量、微织构分析、相鉴定、应变和真实晶粒尺寸的测量。