辉光放电质谱仪

辉光放电质谱仪GDMS是辉光放电质谱法（glow discharge mass spectrometry）的简称。是利用辉光放电源作为离子源与质谱仪器联接进行质谱测定的一种分析方法。GDMS在多个学科领域均获得重要应用。在材料科学领域，GDMS成为反应性和非反应性等离子体沉积过程的控制和表征的工具。GDMS已成为无机固体材料，尤其是高纯材料杂质成分分析的强有力方法。辉光放电质谱法作为一种固体样品的直接分析方法，被认为是目前为止唯一的同时具有最广泛的分析元素范围和足够灵敏度的元素分析方法，已成为固体材料多元素分析尤其是高纯材料分析的强有力的工具。直接对固体进行分析避免了将固体转化成溶液时因在溶解、稀释等过程中造成的玷污和灵敏度降低，而且该方法对样品的分析面积大，所得数据结果有好的代表性。