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真空泵分前级泵和主泵什么意思

ric66    2012-11-29    前级泵    浏览 558 次

精彩问答
chenzhiwang111 发布日期:2017-11-25
主泵和前级泵的配合一般是真空机组。
前级泵可以理解为机械泵。本身可以使用,但抽气速率或者真空度满足不了使用要求,这种情况下我们加一个增压泵。
主泵可以理解为增压泵,用来提高机械泵的真空度跟抽气量。像罗茨泵,扩散泵,分子泵等。这些本身不能使用(压差太大)所以需要机械泵预抽,将真空室内抽成粗真空,然后主泵开始工作。

运行过程中主要的抽气量 极限真空度是靠主泵来实现。所以我们叫它为主泵,起主要作用的泵。
前级泵就是在主泵运行之前需要提前开的泵,就叫前级泵,主泵之前的泵。辅助主泵运行的泵。
不明白的话看签名继续问。
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全部评论
唐之D种族 发布日期:2012-11-30
是否您这边是用到分子泵和油扩散泵在你这里,
如果是的话,前级泵抽气,达到使得分子泵/扩散泵的启动压力。

在此应用中,前级泵一般为油泵/干泵,达到初真空环境,你所提到的主泵为分子泵/油扩散泵,可以达到高真空环境
卫斯理之老猫 发布日期:2012-12-02
主泵是能够达到你想要的真空度和抽速的,但是必须用前级泵进行粗抽。
这主要是因为主泵不能直排大气,或者只用主泵抽需要时间过长,前者居多。
如果只用主泵抽,就会出现吸排气口都是负压。
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