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扫描电子显微镜的工作原理讲解

上传人: 上海西努光学科技有限公司 |大小:70.31KB|浏览:1761次|时间:2019-02-22
扫描电子显微镜的工作原理讲解
文档简介

工作原理:
  扫描电子显微镜由电子枪发射出电子束(直径约50um),在加速电压的作用下经过磁透镜系统汇聚,形成直径为5 nm的电子束,聚焦在样品表面上,在第二聚光镜和物镜之间偏转线圈的作用下,电子束在样品上做光栅状扫描,电子和样品相互作用产生信号电子。这些信号电子经探测器收集并转换为光子,再经过电信号放大器加以放大处理,成像在显示系统上。
  试样可为块状或粉末颗粒,成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是主要的成像信号。由电子枪发射的能量为5~35keV的电子,以其交叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面按一定时间、空间顺序做栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用,产生二次电子发射(以及其他物理信号),二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集转换成电信号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度,扫描电子显微镜得到反应试样表面形貌的二次电子像。
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