Alicat MCE & MCV 系列数字式质量流量控制器(真空型)
- 上传人: 英国豪迈国际有限公司上海代表处 |大小:789.95KB|浏览:594次|时间:2019-08-01
- 文档简介
- 您可能感兴趣的资料
-
热性塑料的MFR(融化质量流量)和MVR(融化体积流量)值的测
-
气体质量流量计产品简述:
-
热式气体质量流量控制器产品样册
-
热式气体质量流量计产品样册
-
热式气体质量流量控制器产品样册
-
热式气体质量流量计产品样册
-
热式气体质量流量控制器产品样册
-
热式气体质量流量控制器产品样册
-
热式气体质量流量控制器产品样册
-
热式气体质量流量控制器产品样册
Alicat的MCE系列数字式质量流量控制器可极ng确控制过程气
体的质量流量、体积流量和压力,功能与匹配性与其它品牌无异,依照SEMI国际标准,将后置式高速比例控制阀置于流量本体内。
Alicat的MCV系列数字式质量流量控制器适用于高真空应用,
在MCE后增加一个集成式正向切断阀,其氦气泄漏率仅为
1x10-9 atm-scc/s,有效地杜绝了污染物进入。
Alicat的MCE & MCV系列质量流量控制器采用内部补偿型层流压差技术,使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动,充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异,并对用户标准工况进行修正。Alicat提供全方位的用户支持,包括技术咨询、快捷的设备校准服务和有条件的终身质保。
Alicat的MCE & MCV系列质量流量控制器带有集成式多功能数字显示屏,用户仅通过屏幕按钮操作便可控制设定值及PID阀门调节。Z高可达0.4%的精度、0.2%的重复性及不到100毫秒的控制响应时间优化了气体控制过程,同时开放模拟通讯和RS-232数字通讯模式。另有各类定制化选项供特殊项目需求,如:用于危险环境的ATEX(欧洲)1类2区和CSA(美国
标签: