氦质谱检漏仪常见故障的分析与处理
- 上传人: 上海科学仪器有限公司 |大小:303.74KB|浏览:1068次|时间:2018-06-23
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针对氦质谱检漏仪在使用过程中出现的内部密封结构泄漏、检测信号不准确、质谱室故障、分子泵不工作、前级泵不工作等故障和现象进行了分析,并提出了处理各种故障的方法和建议。总结了检漏仪在使用过程中应特别注意的事项。本文所提出的检漏仪故障的处理方法和建议对检漏工作者具有一定借鉴意义。
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