真空镀膜稳定性与均匀性研究
- 上传人： 上海科学仪器有限公司 |大小：1.49MB|浏览：568次|时间：2018-06-23
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真空镀膜的质量受多种因素的影响，镀膜工艺参数等诸多要素直接影响到真空镀膜的稳定性与均匀性。本文以真空蒸发镀膜和PECVD法为例，详细分析了影响镀膜稳定性与均匀性的工艺问题，希望对于实际真空镀膜工作质量的提供有所启发和帮助。
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