超纯水系统工艺及其施工
- 上传人: 上海科学仪器有限公司 |大小:123.85KB|浏览:327次|时间:1970-01-01
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超纯水在集成电路工业中主要应用于半导体原材料与工业器皿的清洗和光刻掩模版的制备以及作为硅片氧化用的水汽源等。另外,在薄膜和印刷电路、厚膜电路与其他固态电子器件以及真空管的制作都会使用超纯水。本文针对超纯水的系统施工和工艺进行深入探究。
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