NexION300S测定半导体行业中使用有机溶剂的杂质
- 上传人: 上海科学仪器有限公司 |大小:1.08MB|浏览:363次|时间:2018-08-17
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半导体行业中Z常用的两种有机溶剂是异丙醇(IPA)和丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)。两种有机溶剂都必须检测痕量金属污染物的含量,因为这些物质的存在将会对存储设备的可靠性产生不利影响。由于具有快速测定各种工艺化学品中超痕量浓度待测元素的能力,电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)已成为了质量控制不可缺少的分析工具。本应用报告证明了NexION300ICP-MS去除干扰,从而在使用高温等离子体的条件下通过一次分析就能够很容易的对IPA和PGMEA中全部痕量水平的杂质元素进行测定的能力。这一实验在一次测定中同时使用标准模式和反应模式可以得到**的分析结果。
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