复旦大学物理气相沉积设备中标公告

　　上海市机械设备成套(集团)有限公司受复旦大学的委托，就复旦大学物理气相沉积设备项目(项目编号：1639-184211210001 )组织采购，评标工作已经结束，中标结果如下：

　　一、项目信息

　　项目编号：1639-184211210001

　　项目名称：复旦大学物理气相沉积设备

　　项目联系人：魏书真

　　联系方式：86-21- 65642437-108

　　二、采购单位信息

　　采购单位名称：复旦大学

　　采购单位地址：邯郸路220号

　　采购单位联系方式：魏书真 86-21- 65642437-108

　　三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：

　　两套物理气相沉积设备均采用磁控溅射镀膜工艺，在基片表面制备纳米级薄膜。其中一套物理气相沉积设备包含六个标准场强的靶枪，采用分子泵泵抽系统，可以安装一片6英寸基片，并带有基片加热和偏压清洗功能。另外一套物理气相沉积设备包含五个标准场强的靶枪和一个强磁靶枪，采用分子泵泵抽系统，可以安装一片6英寸基片，带有基片加热和偏压清洗功能，并安装有进样室。主要用于微电子器件的金属电极薄膜的制备和研究。交货期：信用证后5个月内。

　　四、采购代理机构信息

　　采购代理机构全称：上海市机械设备成套(集团)有限公司

　　采购代理机构地址：上海市长寿路285号恒达广场16楼

　　采购代理机构联系方式：张洁玮 陈永亮 86-21-32557719;86-21-32557775

　　五、中标信息

　　招标公告日期：2018年01月04日

　　中标日期：2018年02月23日

　　总中标金额：338.11686 万元(人民币)

　　中标供应商名称、联系地址及中标金额：

　　评审专家名单：

　　蒋 宏、宋庚明、华子义、田 震、孙清清

　　中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：

　　物理气相沉积设备;数量：2套;中标价USD538,000.00;质保期：12个月。

　　六、其它补充事宜

第1包招标项目：