- 招标单位:复旦大学 招标成功
- 招标编号:1639-184211210008/1
- 仪器网 2018-02-26 15:41:22点击 41 次
- 【复旦大学反应离子刻蚀中标公告】,招标项目内容包括【反应离子刻蚀】,中标单位为【SENTECH Instruments GmbH】。
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上海市机械设备成套(集团)有限公司受复旦大学的委托,就复旦大学反应离子刻蚀项目(项目编号:1639-184211210008/1)组织采购,评标工作已经结束,中标结果如下:
一、项目信息
项目编号:1639-184211210008/1
项目名称:复旦大学反应离子刻蚀
项目联系人:魏书真
联系方式:86-21- 65642437-108
二、采购单位信息
采购单位名称:复旦大学
采购单位地址:邯郸路220号
采购单位联系方式:魏书真 86-21- 65642437-108
三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期:
该设备采用反应离子刻蚀(RIE)方式实现对SiO2、SiNx等介质材料和硅的干法刻蚀。反应离子刻蚀机主要由以下几部分组成:反应腔室、上电极、下电极、射频源、真空系统、气路系统、预真空室、控制系统与软件等。
四、采购代理机构信息
采购代理机构全称:上海市机械设备成套(集团)有限公司
采购代理机构地址:上海市长寿路285号恒达广场16楼
采购代理机构联系方式:张洁玮 陈永亮 86-21-32557719;86-21-32557775
五、中标信息
招标公告日期:2018年01月11日
中标日期:2018年02月11日
总中标金额:147.84884 万元(人民币)
中标供应商名称、联系地址及中标金额:
序号
中标供应商名称
中标供应商联系地址
中标金额(万元)
1
SENTECH Instruments GmbH
Schwarzschildstr.2,Brrlin,Germany
147.848840
评审专家名单:
丁臻敏、朱建钢、田 震、史泰冈、周 鹏
中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求:
反应离子刻蚀;数量:1套;中标价:EUR188,000.00;质保期:12个月。
六、其它补充事宜
投标人名称
SENTECH Instruments GmbH
上海航扬电子科技有限公司
北京柯灵瑞思技术有限公司
评标价格(美元)
USD234,688.15
USD242,886.01
USD243,776.00
评标价格排序
1
2
3
第1包招标项目:
编号 产品名称 品牌型号 数量/单位 价格 中标单位 中标金额 1 反应离子刻蚀 无 1 188,000欧元 SENTECH Instruments GmbH 147.84884 万元