清华大学原子层薄膜沉积系统采购项目中标公告

　　“清华大学原子层薄膜沉积系统采购项目”项目(项目编号：清设招第2018295号) 组织评标工作已经结束，现将评标结果公示如下：

　　一、项目信息

　　项目编号：清设招第2018295号

　　项目名称：清华大学原子层薄膜沉积系统采购项目

　　项目联系人：杨老师，包老师

　　联系方式：62785713

　　二、采购单位信息

　　采购单位名称：清华大学

　　采购单位地址：北京海淀区清华园

　　采购单位联系方式：杨老师，包老师 yangjingsbc@mail.tsinghua.edu.cn

　　三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：

　　项目用途：

　　主要用于采用原子层沉积的方式制备超薄、高均匀性和保型性好的各种薄膜材料，包括氮化物、金属等。

　　简要技术要求：

　　反应腔体可加热到150℃以上，载物台温度能达到500℃，温控精确度：±1℃。真空腔体外壁温度始终低于60℃。反应腔体室本底真空：≤ 1 x 10-5 mbar

　　采用远程等离子体方式，等离子源的射频功率连续可调，最大射频功率不小于600W

　　合同履行日期：合同签订后6个月内

　　四、中标信息

　　招标公告日期：2018年12月21日

　　中标日期：2019年01月11日

　　总中标金额：279.95 万元(人民币)

　　中标供应商名称、联系地址及中标金额：

　　中标供应商名称：北京怡通寰太进出口有限公司

　　联系地址：北京市西城区新街口外大街8号1幢(D座)5区302号(德胜园区)。

　　中标金额： 2,799,500.00人民币

　　本项目招标代理费总金额： 万元(人民币)

　　评标委员会成员名单：

　　缪旻、张大成、刁宏伟、王晓东(前述专家均为自选专家)、王谦

　　中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：

　　原子层薄膜沉积系统1 套

　　单价：2,799,500.00人民币

　　服务要求：质保期：验收之日起不少于1年。

第1包招标项目：