清华大学电感耦合等离子增强化学气相沉积系统中标公告

　　清华大学电感耦合等离子增强化学气相沉积系统项目(项目编号：清设招第2017200号) 组织评标工作已经结束，现将评标结果公示如下：

　　一、项目信息

　　项目编号：清设招第2017200号

　　项目名称：清华大学电感耦合等离子增强化学气相沉积系统

　　项目联系人：杨 晶，李美珍

　　联系方式：62785713

　　二、采购单位信息

　　采购单位名称：清华大学

　　采购单位地址：清华大学实验室与设备处老环境楼101C办公室

　　采购单位联系方式：杨 晶，李美珍， 62785713

　　三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：

　　该设备通过电感耦合方式产生高密度等离子体，在半导体衬底(例如硅半导体、化合物半导体)或有机衬底上沉积高质量的介质薄膜(氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy薄膜)等。

　　四、中标信息

　　招标公告日期：2017年11月08日

　　中标日期：2017年11月30日

　　总中标金额：220.0 万元(人民币)

　　中标供应商名称、联系地址及中标金额：

　　中 标 人：牛津仪器科技(上海)有限公司

　　地 址：上海市徐汇区虹漕路461号60号楼1层

　　中标金额：2,200,000.00元人民币

　　评标委员会成员名单：

　　刁宏伟、张大成、于中尧、魏清泉(前述专家均为自选专家)、王谦

　　中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：

　　标的名称：电感耦合等离子增强化学气相沉积系统

　　数量：1套，

　　单价：2,200,000.00元人民币

　　五、其它补充事宜