- 招标单位:南京大学
- 招标产品:离子束刻蚀系统
- 招标编号:0667-184JIBEP6031/01/02/03
- 仪器网 2018-06-21 16:09:15 点击 18 次
- 【南京大学ICP化合物材料等离子体刻蚀系统等仪器设备采购项目公开招标】,招标编码为【0667-184JIBEP6031/01/02/03】,招标项目内容包括【ICP化合物材料等离子体刻蚀系统】,投标截止到【2018-07-12 09:00】,欢迎合格的供应商前来投标
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江苏省设备采购国际招标中心受南京大学委托,根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定,现对电子束直写制版机、激光直写制版机、ICP化合物材料等离子体刻蚀系统进行公开招标,欢迎合格的供应商前来投标。
项目名称:电子束直写制版机、激光直写制版机、ICP化合物材料等离子体刻蚀系统
项目编号:0667-184JIBEP6031/01/02/03
项目联系方式:
项目联系人:朱天强
项目联系电话:025-83711986
采购单位联系方式:
采购单位:南京大学
地址:南京市栖霞区仙林大道163号
联系方式:王老师 025-89688969
代理机构联系方式:
代理机构:江苏省设备采购国际招标中心
代理机构联系人:朱天强 025-83711986
代理机构地址: 南京市虎踞北路12号综合南二楼
一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍:
01包 电子束直写制版机 1套 预算金额:人民币880万元
简要规格: 电子枪:电子束形状呈高斯波束;热场发射电子束源的加速电压可以达到100 kV或以上,且加速电压可根据需要进行调整;
02包 激光直写制版机 1套 预算金额:人民币350万元
简要规格:可实现最小线宽1μm;
03包 ICP化合物材料等离子体刻蚀系统 1套 预算金额:人民币230万元
简要规格:具有稳定可靠的工艺性能、宽阔的工艺窗口和良好的工艺兼容性,主要用于150mm晶片(可兼容直径150mm晶片或以下尺寸样品)的各向异性刻蚀;快速切换工艺气体,可进行纳米结构和低损伤刻蚀;
二、投标人的资格要求:
1)制造商授权书。2)如是境内的投标商应提供企业法人营业执照副本。3)法人代表授权书。
三、招标文件的发售时间及地点等:
预算金额:1460.0 万元(人民币)
时间:2018年06月21日 09:00 至 2018年06月28日 16:00(双休日及法定节假日除外)
地点:江苏省设备采购国际招标中心(地址:南京市虎踞北路12号综合南二楼)
招标文件售价:¥800.0 元,本公告包含的招标文件售价总和
招标文件获取方式:购买
四、投标截止时间:2018年07月12日 09:00
五、开标时间:2018年07月12日 09:00
六、开标地点:
金陵晶元大酒店四楼明志厅(江苏省南京市鼓楼区江东北路386号)。
七、其它补充事宜
无
八、采购项目需要落实的政府采购政策:
已落实。
欲了解更多资讯,查看官方招标公告>>>
南京大学ICP化合物材料等离子体刻蚀系统等仪器设备采购项目公开招标
南京大学(Nanjing University),简称“南大”,是一所源远流长的高等学府。追溯学脉古为源自孙吴永安元年的南京太学,近代校史肇始于1902年筹办的三江师范学堂,历经多次变迁,1949年“国立中央大学”易名“国立南京大学”,翌年径称“南京大学”,沿用至今。
南京大学是教育部与江苏省共建的全国重点大学,国家首批“211工程”、“985工程”高校,首批“珠峰计划”、“111计划”、“2011计划”、“卓越计划”实施高校,也是九校联盟、中国大学校长联谊会、世界大学联盟、环太平洋大学联盟、21世纪学术联盟和东亚研究型大学协会重要成员。
截至2016年6月,南京大学有鼓楼、仙林两个校区,28个直属院系,各类学生总计32999人。全校设本科专业87个,硕士学位授权一级学科18个,博士学位授权一级学科40个,博士后流动站38个,国家级人才培养基地13个;有一级学科国家重点学科8个,二级学科国家重点学科13个;有国家实验室(筹)1个,国家重点实验室7个,教育部重点实验室8个,国家工程技术研究中心1个,国家级“2011协同创新中心”2个,教育部人文社会科学重点研究基地4个。
南京大学是哈佛大学白碧德主义影响下的中国“学衡派”的雅集地,被誉为“中国科学社的大本营和科学发展的主要基地”,被杨振宁称赞为“中国最顶尖的大学”。南京大学是“985工程”首批九所高水平大学中唯一未合并其他院校的高校,坚持“内涵发展”,保持“原汁原味”办学优势与特色,赢得社会“中国最温和的大学”美誉。