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仪器网/ 招标中心/ 招标信息/清华大学天津电子信息研究院电子束光刻机等仪器设备采购项目招标
招标单位:清华大学天津电子信息研究院
招标产品:电子束刻蚀系统,工具显微镜/测量显微镜,镀膜机,激光刻蚀机,磁控溅射仪/磁控溅射镀膜仪,气相沉积系统
招标编号:CEIECZB01-17CS168

清华大学天津电子信息研究院电子束光刻机等仪器设备采购项目招标

仪器网  2017-07-18 14:42:56  点击 57 次 清华大学天津电子信息研究院电子束光刻机等仪器设备采购项目招标招标文件下载
【清华大学天津电子信息研究院电子束光刻机等仪器设备采购项目招标】,招标编码为【CEIECZB01-17CS168】,招标项目内容包括【电子束光刻机、等离子增强化学气相沉积、等离子耦合干法刻蚀机、离子刻蚀镀膜仪、纳米测量显微镜、半导体大视野高分辨二维观察系统】,投标截止到【2017-08-08 09:00】,欢迎合格的供应商前来投标

  北京中教仪国际招标代理有限公司受清华大学天津电子信息研究院委托,根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定,现对清华大学天津电子信息研究院光电芯片集成工艺平台设备购置项目进行公开招标,欢迎合格的供应商前来投标。

  项目名称:清华大学天津电子信息研究院光电芯片集成工艺平台设备购置项目

  项目编号CEIECZB01-17CS168

  项目联系方式:

  项目联系人:陈思佳、张涵睿、刘思远、杨硕

  项目联系电话:010-598931155989311759893118

  采购单位联系方式:

  采购单位:清华大学天津电子信息研究院

  地址:天津市中新天津生态城中天大道1620号生态城科技园启发大厦

  联系方式:闫青芝, yanqingzhi@tsinghua-eei.com

  代理机构联系方式:

  代理机构:北京中教仪国际招标代理有限公司

  代理机构联系人:陈思佳、张涵睿、刘思远、杨硕,010-598931155989311759893118

  代理机构地址: 北京市海淀区文慧园北路10号,北京中教仪国际招标代理有限公司办公楼603

  一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍:

包号

品目号

设备名称

简要技术参数

数量

分包预算金额(人民币元)

1

1-1

等离子耦合干法刻蚀机

用于2-6英寸Si材料刻蚀

1

6,251,000

1-2

等离子增强化学气相沉积

用于2-6英寸基底上SiNSiO2

1

1-3

等离子体干法刻蚀机

用于2-6英寸SiO2SiNx材料刻蚀

1

2

2-1

高密度等离子刻蚀机

片内均匀度£ ±5%

1

4,500,000

3

3-1

紫外光刻系统

曝光波长范围:350-450nm

1

2,245,000

4

4-1

半导体大视野高分辨二维观察系统

电子束成像模式下最大视野范围不小于60mm

1

13,651,000

4-2

半导体微纳米器件制备系统工作站

离子枪最大视野范围:580 x 580 μm

1

5

5-1

离子刻蚀镀膜仪

具备平面大面积离子抛光、横截面离子抛光及高精度离子束镀膜

1

1,152,000

6

6-1

电子束蒸发镀膜设备

6英寸基片(去除边缘5mm)镀膜均匀性优于+/-5%

1

1,900,000

7

7-1

电子束光刻机

扫描频率≥120MHz

1

30,240,000

8

8-1

纳米测量显微镜

包含激光共聚焦扫描功能及原子力扫描功能

1

1,880,000

  注:本项目共分8个包,投标人只可投完整的一包或多包,不允许将其中一包中的内容拆开投标。本项目接受进口产品投标。

  采购用途:清华大学天津电子信息研究院光电芯片集成工艺平台科研成果转化需求。

  二、投标人的资格要求:

  1)按照招标公告的规定,获得招标文件。2)须满足中华人民共和国政府采购法第二十二条、中华人民共和国政府采购法实施条例第十七条有关规定。3)为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商,不得再参加本项目采购活动。4)单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得参加同一合同项下的政府采购活动。5)投标人不得为信用中国网站(www.creditchina.gov.cn)中列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的供应商,不得为中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)政府采购严重违法失信行为记录名单中被财政部门禁止参加政府采购活动的供应商(处罚决定规定的时间和地域范围内)6)本项目不接受联合体投标申请。

  三、招标文件的发售时间及地点等:

  预算金额:6181.9 万元(人民币)

  时间:20170718 09:00 20170725 17:00(双休日及法定节假日除外)

  地点:北京市海淀区文慧园北路10号,北京中教仪国际招标代理有限公司办公楼603室。

  招标文件售价:¥4000.0 元,本公告包含的招标文件售价总和

  招标文件获取方式:可前往采购代理机构办公地点购买或邮购。若邮购,需另付邮寄费人民币50元,请按本招标公告中采购代理机构账户信息汇款,只接受对公账户汇款,汇款时备注招标编号,随后将汇款底单传真至采购代理机构,并注明:购买招标文件单位名称、通讯地址、联系电话、传真、联系人姓名及其e-mail地址、拟投标包号等内容,并联系确认传真信息,采购代理机构在收到汇款后会及时将招标文件邮寄给贵单位。 招标文件出售价格:每包人民币500元,招标文件售后不退。

  四、投标截止时间20170808 09:00

  五、开标时间20170808 09:00

  六、开标地点:

  北京中教仪国际招标代理有限公司六层会议室(地址:北京市海淀区文慧园北路10号院内,北师大加油站北侧)

  七、其它补充事宜

  1)北京中教仪国际招标代理有限公司账户信息:

  开 户 名:北京中教仪国际招标代理有限公司

  开户行:中国银行北京文慧园支行

  帐 号:3402 6390 2979

  注:请投标人在汇款时务必注明所投标项目的项目编号及用途,否则,因款项用途不明导致投标无效等后果由投标人自行承担;不接受个人帐户汇款。

  2)评标方法和标准:综合评分法。

  3)公告期限:自公告发布之日起5个工作日。

  八、采购项目需要落实的政府采购政策:

  1)执行《财政部 国家发展改革委关于印发〈节能产品政府采购实施意见〉的通知》(财库[2004]185);

  2)执行《财政部 环保总局关于环境标志产品政府采购实施的意见》(财库[2006]90);

  3)执行《政府采购促进中小企业发展暂行办法》(财库[2011]181);

  4)执行《财政部关于开展政府采购信用担保试点工作方案》(财库[2011]124)

  5)执行《财政部、司法部关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》(财库[2014]68);

  6) 执行《财政部关于在政府采购活动中查询及使用信用记录有关问题的通知》(财库[2016]125)

 


欲了解更多资讯,查看官方招标公告>>>
清华大学天津电子信息研究院单位介绍

清华大学(Tsinghua University),简称清华,由中华人民共和国教育部直属,中央直管副部级建制,位列“211工程”、“985工程”,入选”珠峰计划“、”2011计划“、”111计划“、”卓越工程师教育培养计划“、”卓越法律人才教育培养计划“、”卓越医生教育培养计划“,为九校联盟、东亚研究型大学协会、环太平洋大学联盟、清华大学—剑桥大学—麻省理工学院低碳能源大学联盟成员。 清华大学诞生于1911年,依托美国退还的部分“庚子赔款”建立,因北京西北郊的清华园而得名,初称“清华学堂”,是清政府设立的留美预备学校,翌年更名为“清华学校”;为尝试人才的本地培养,1925年设立大学部,1928年更名为“国立清华大学”;1937年抗日战争爆发后,学校南迁长沙,与北京大学、南开大学联合组建“国立长沙临时大学”;1938年迁至昆明,改名为“国立西南联合大学”;1946年迁回清华园,1952年成为一所多科性工业大学;改革开放以来,学校先后恢复或新建了理科、经济、管理和文科类学科,并成立了研究生院和继续教育学院。 清华大学是中国乃至亚洲最著名的高等学府之一,在长达百年的办学历史中,2位共和国主席、7位中央政治局常委、14名两弹一星获得者、600余名院士从这里走出,王国维、梁启超、陈寅恪、赵元任等一大批学术巨匠曾在此执教,恰如清华园工字殿内对联所书——“槛外山光,历春夏秋冬、万千变幻,都非凡境;窗中云影,任东西南北、去来澹荡,洵是仙居”

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