详细介绍
仪器简介:
IMP离子蚀刻探针(IonMil领Probe),自带差式泵,坚固的二次离子质谱仪,适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子.
独有的专业终点检测(EndPointDetection)仪器,用于离子蚀刻控制以及过程质量zuiyou化监测.
技术参数:
应用:
终点检测(End Point Detection)
靶的纯度鉴定
质量控制/ SPC.
残余气体分析
泄漏监测
主要特点:
特点:
高灵敏度的 SIMS/MS,带脉冲离子计数检测器
三级过滤四极杆,标准配置质量数为300 amu
差式泵歧管,经连接法兰,接到过程室
离子光学器件,带能量分析器和内置离子源
Penning规和互锁装置,以提供过压保护
数据系统与过程控制工具整合
稳定性(24h以上,峰高变化小于 ±0.5%)
通过 RS232、RS485或以太网, 软件MASsoft控制
程控DDE, 平行数字式I/O, RS232通讯
IMP离子蚀刻探针(IonMil领Probe),自带差式泵,坚固的二次离子质谱仪,适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子.
独有的专业终点检测(EndPointDetection)仪器,用于离子蚀刻控制以及过程质量zuiyou化监测.
技术参数:
应用:
终点检测(End Point Detection)
靶的纯度鉴定
质量控制/ SPC.
残余气体分析
泄漏监测
主要特点:
特点:
高灵敏度的 SIMS/MS,带脉冲离子计数检测器
三级过滤四极杆,标准配置质量数为300 amu
差式泵歧管,经连接法兰,接到过程室
离子光学器件,带能量分析器和内置离子源
Penning规和互锁装置,以提供过压保护
数据系统与过程控制工具整合
稳定性(24h以上,峰高变化小于 ±0.5%)
通过 RS232、RS485或以太网, 软件MASsoft控制
程控DDE, 平行数字式I/O, RS232通讯