腐蚀性气体分析仪

仪器简介：
HPR-80(QuantitativeGasAnalyserforReactive/CorrosiveSpecies)是专为活泼性、腐蚀性气体分析和半导体、真空过程研究而设计的仪器，快速、定量分析活泼性、腐蚀性气体混合物。

应用：

等离子体/反应性离子蚀刻研究
CVD/PVD/MOCVD
半导体晶片加工研究
真空、等离子体过程
活性物质定量分析
HF，HCl，HBr，CFC研究



主要特点：
加热的电抛光波纹管，快速偶合连接器
可清除的，带粘性流QIC校正的进样口用于定量分析
高灵敏度至 5 ppb, 质量数可至2500 amu.
进样压力从 1 mtorr 至大气压
电容压力计，压力检测可不受分析物影响
稳定性好 (24h之上，小于峰高±0.5% )
软件 MASsoft 控制
矩阵反演，归一化及单峰参考