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美国Polycold
美国Polycold是低温水气泵(waer vapor cryopump)的一个品牌,Meissner先生发明了低温水气泵(waer vapor cryopump)并得到相关的应用,且注册了品牌Polycold。目前Polycold是属于美国Brooks公司,Polycold冷冻机辅助抽真空,在真空度10-2至10-8mabr之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,帮助企业显著提升产能和镀膜质量。
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