-
公司新闻
-
“微”祝福|小型台式无掩膜光刻落户深圳大学为您献上微加工的圣诞祝福
发布:QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司浏览次数:360由英国科学院院士、剑桥大学卡文迪许实验室Russell Cowburn教授亲自设计并研发的小型台式无掩膜激光直写仪(MicroWriter ML3, Durham Magneto Optics, Ltd.)于近日在深圳大学成功安装并应用。该无掩膜光刻系统具有操作灵活、结构小巧(70 cm × 70 cm × 70 cm)、直写速度快、分辨率高(< 1 um)等特点。直写时无需掩膜版,可利用画图软件直接设计版图进行直写曝光。同时,MicroWriter售价及维护成本低,应用操作极具人性化,可为光机电、微流控和半导体等领域的实验室提供**的微加工解决方案。
经过不断的升级和发展,MicroWriter目前在ZG已有近50多家用户群体,包括清华大学、北京大学、ZG科学院、南京大学、复旦大学、ZG科技大学、华中科技大学等在内的高校研究所,研究领域涵盖材料、物理、化学、机械、光电子等各个领域。
图1. (左)安装在深圳大学的小型无掩膜激光直写系统(MicroWriter ML3 Baby);(右)由MicroWriter直写完成的“圣诞祝福”曝光结果
图2. 利用该小型激光直写系统(MicroWriter ML3 pro)制备的超精细线条(~ 0.6μm)阵列曝光结果(其中标尺大小为10μm)
图3. 利用MicroWriter可以实现准3D的灰度曝光(0 – 255阶),左图为实现灰度曝光的设计版图,右图为实际的曝光结果(曝光图形实际尺寸为 500μm × 500μm)
相关参考:
1.英国科学院院士、剑桥大学教授Russell Cowburn介绍:https://www.phy.cam.ac.uk/directory/cowburnr
2019-12-25 -
免责声明
①本网刊载上述内容,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任
②若本站内容侵犯到您的合法权益,请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱:hezou_yiqi
-
仪网通银牌会员 第 6 年
QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司
认证:工商信息已核实
- 产品分类
- 品牌分类
- (英国)英国ONI
- (美国)美国Quantum Design
- (西班牙)西班牙Nanoscale Biomagnetic
- (美国)美国Montana Instruments
- (德国)德国LLS ROWIAK
- (德国)德国Attocube Systems
- (日本)日本RIBM
- (德国)德国THEVA
- (日本)日本Churitsu
- (瑞典)Excillum
- (美国)美国Anasazi
- (英国)英国ICEoxford
- (法国)法国Alyxan
- (美国)美国HPD
- (日本)日本Tohuko
- (美国)美国MicroSense
- (美国)美国Applied NanoFluorescence
- (英国)英国Durham Magneto Optic
- (美国)美国PHOTOTHERAML
- (瑞典)瑞典NanOsc
- (日本)GES
- (比利时)比利时Metis
- (波兰)Novilet
- (法国)法国Hprobe
- (西班牙)Das Nano
- (德国) 德国LOT-Orial Group
- (瑞士)Qzabre
- (日本)日本Advance Riko
- (英国)Moorfield
- (德国)德国PANCO
- (西班牙)Planelight
- (美国)美国easyXAFS
- (青岛)致真精密仪器
- (德国)德国neaspec
- (美国)NanoView
- (瑞士)瑞士IRsweep
- (德国)Kiutra
- (日本)PULSTEC
- (美国)zeroK Nanotech
- (美国)美国Delong Instruments
- (法国)塔莱恩特(Telight)
- (美国)美国RHK Technology
- (法国)Spin-ION
- (芬兰)芬兰SPECIM
- (加拿大)ICSPI
- (奥地利)奥地利GETec
- (瑞典)Viventis Microscopy
- (日本)Nanophoton
- (美国)MONSTR Sense
- (奥地利)奥地利SCL-Sensor.Tech
- (德国)德国REACNOSTICS
- (美国)美国ARRADIANCE
- (英国)英国iotaSciences
- (瑞士)瑞士Swisslitho AG
- (美国)美国Lake Shore
- (德国)德国SciDre
- (美国)美国BlueWave
- (韩国)韩国NTi
- (美国)美国Thermal Technology
- (德国)iplas
- (美国)美国Depths of the eart
- (德国)Nanoanalytics
- (加拿大)加拿大Johnsen Ultrava
- (德国)NanoTemper
- (瑞士)瑞士Cytosurge
- (日本)Omegatron
- (荷兰)荷兰Lumicks
- (法国)法国abbelight
- (美国)美国Mizar Imaging
- (瑞士)attolight
-
仪企号Quantum Design中国子公司
-
友情链接
-
手机版开启全新的世界m.yiqi.com/zt2203/