仪器网首页 欢迎您: 请登录 免费注册 仪器双拼网址:www.yiqi.com
发求购 学知识 提问题 查标准 找商机 手机版
官方微信
QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司
主营产品:低温物理、磁学、材料物理、样品制备、纳米及光谱表征及生物技术尖端设备
010-85120280
仪器网仪网通会员,请放心拨打!
公司新闻
 
当前位置:首页>公司新闻>“微”祝福|小型台式无掩膜光刻落户深圳大学为您献上微加工的圣诞祝福

“微”祝福|小型台式无掩膜光刻落户深圳大学为您献上微加工的圣诞祝福

发布:QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司
浏览次数:360

    由英国科学院院士、剑桥大学卡文迪许实验室Russell Cowburn教授亲自设计并研发的小型台式无掩膜激光直写仪(MicroWriter ML3, Durham Magneto Optics, Ltd.)于近日在深圳大学成功安装并应用。该无掩膜光刻系统具有操作灵活、结构小巧(70 cm × 70 cm × 70 cm)、直写速度快、分辨率高(< 1 um)等特点。直写时无需掩膜版,可利用画图软件直接设计版图进行直写曝光。同时,MicroWriter售价及维护成本低,应用操作极具人性化,可为光机电、微流控和半导体等领域的实验室提供**的微加工解决方案。


    经过不断的升级和发展,MicroWriter目前在ZG已有近50多家用户群体,包括清华大学、北京大学、ZG科学院、南京大学、复旦大学、ZG科技大学、华中科技大学等在内的高校研究所,研究领域涵盖材料、物理、化学、机械、光电子等各个领域。


小型台式无掩膜激光直写仪(MicroWriter ML3)

图1. (左)安装在深圳大学的小型无掩膜激光直写系统(MicroWriter ML3 Baby);(右)由MicroWriter直写完成的“圣诞祝福”曝光结果


小型台式无掩膜激光直写仪(MicroWriter ML3)

图2. 利用该小型激光直写系统(MicroWriter ML3 pro)制备的超精细线条(~ 0.6μm)阵列曝光结果(其中标尺大小为10μm)


小型台式无掩膜激光直写仪(MicroWriter ML3)

 图3. 利用MicroWriter可以实现准3D的灰度曝光(0 – 255阶),左图为实现灰度曝光的设计版图,右图为实际的曝光结果(曝光图形实际尺寸为 500μm × 500μm)

 


相关参考:


1.英国科学院院士、剑桥大学教授Russell Cowburn介绍:https://www.phy.cam.ac.uk/directory/cowburnr


2019-12-25
仪网通银牌会员 第 6 年

QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司

认证:工商信息已核实
仪企号 
Quantum Design中国子公司
友情链接 
手机版 
QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司手机站
开启全新的世界
m.yiqi.com/zt2203/
官方微信

仪器网微信服务号

扫码获取最新信息


仪器网官方订阅号

扫码获取最新信息

在线客服

咨询客服

在线客服
工作日:  9:00-18:00
联系客服 企业专属客服
电话客服:  400-822-6768
工作日:  9:00-18:00
订阅商机

仪采招微信公众号

采购信息一键获取海量商机轻松掌控