详细介绍
热电过程恒温器适用于 -20 至 90 °C 的半导体行业
热电使用地点 (POU) 温度控制系统完成等离子刻蚀应用中可复制的温度调节。此系统确保静电硅片夹 (ESC) 的动态温度调节，并且可与所有类型的刻蚀工艺结合使用。成熟和已知的珀耳帖元件传热原理是热电温度调节系统 LAUDA-Noah POU 的基础。使用此元件可快速、准确调节温度，这正是不断缩小部件高要求生产过程需要的。
技术参数
| POU 3300 | POU 3500 | |
| zui小工作温度 | -20 °C | -20 °C |
| zui大工作温度 | 90 °C | 90 °C |
| 20 °C 时的制冷功率 | 1.2 kW | 2.5 kW |
产品优势
与基于压缩机的系统相比，通过在使用地点 (POU) 使用温度控制系统，降低能耗多达 90 %。可安装在使用地点的地下，非常节省空间，这样zui大限度地减少无尘室的使用。快速和极ng准地将过程温度曲线控制在 ±0.1 °C，从而提高晶圆间均质性。
- 产品分类
- 品牌分类
-
仪企号
劳达贸易(上海)有限公司
-
友情链接
