场发射扫描电镜

在相同WD的条件下，可同时实现二次电子、背散射电子观察与X射线分析 zui多可同时实现6通道检测与显示 可配置18个附件接口

1. 配备加速电压减速功能，的低加速电压成像能力，1kV分辨率可达0.8nm 2. 日立ZLE×B技术，无需喷镀，可直接观测不导电样品

1.选配顶端过滤器，可实现良好的成分对比度； 2.优异的扩展功能，可附加多种功能附件。

此次推出的SU7000采用全新设计的探测器，使得对二次电子信号、背散射电子信号的检测以及分离能力大大提升。

U9000是上高二次电子分辨率（0.4nm@30kV）和STEM分辨率（0.34nm@30kV）的扫描电镜。它采取了特的真空系统和电子光学系统，不仅分辨率性能优异，而且作为冷场发射扫描电镜甚至不需要传

品介绍：　　日立全新一代热场发射扫描电镜SU5000继承了日立半导体行业扫描电镜CD-SEM高稳定性和易操作的特点，不仅具有强大的观察分析能力，同时具有全新的操作体验。SU5000既满足了专业电镜操作

"Regulus系列"是日立高新技术的FE-SEM的全新品牌，包括作为SU8010的后续机型开发的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升 &q...

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FE-SEM获得的图像分辨率高，信息丰富，样品处理相对简单，并且它可以观察、测量并分析样品的细微结构，因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生命科学、材料等领域。近年来，以Materials I...

FE-SEM获得的图像分辨率高，信息丰富，样品处理相对简单，并且它可以观察、测量并分析样品的细微结构，因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生命科学、材料等领域。近年来，以Materials I...