极大地提高生产力
低成本 —几个月就能收回成本
A精确 — 测量精度高于 ±1%
快速 — 几秒钟完成测量
非侵入式 — 完全在沉积室以外进行测试
易于使用 — 直观的 Windows™ 软件
几分钟就能准备好的系统
产品简介
厚度测量产品
F20 系列 - 台式薄膜厚度测量系统
只需按下一个按钮,您在不到一秒钟的同时测量厚度和折射率。设置同样简单, 只需插上设备到您运行Windows™ 系统计算机的USB端口, 并连接样品平台 , F20已在世界各地有成千上万的应用被使用. 事实上,我们每天从我们的客户学习更多的应用. 选择您的F20主要取决於您需要测量的薄膜的厚度(确定所需的波长范围) 可测模层 : 平整,半透明,吸光薄膜。 如: SiO2, SiNX, DLC,光刻胶, 多晶硅,无定型硅,硅片。
基底层 : 平整,反射基底。 如需测量光学系数,则需要平整镜面反射基底,如果基片是透光的,基片背面需要做反光处理。 Si, Al, GaAs, 钢, 聚碳酸脂Polymer film, 聚合物薄膜 Polycarbonate。 |
F30 系列: 光谱反射率系统 | F40 系列: 显微镜斑点测量系统 | |
监控薄膜沉积,有力的工具F30光谱反射率系统能实时测量沉积率、沉积层厚度、光学常数 (n 和 k 值) 和半导体以及电介质层的均匀性。
样品层分子束外延和金属有机化学气相沉积:可以测量平滑和半透明的,或轻度吸收的薄膜。这实际上包括从氮化镓铝到镓铟磷砷的任何半导体材料。
各项优点: | F40 产品系列用于测量小到 1 微米的光斑。 对大多数显微镜而言,F40 能简单地固定在 c 型转接器上,这样的转接器是显微镜行业标准配件。
F40 配备的集成彩色摄像机,能够对测量点进行准确监控。 在 1 秒钟之内就能测定厚度和折射率。 像我们所有的台式仪器一样,F40 需要连接到您装有 Windows 计算机的 USB 端口上并在数分钟内完成设定。 | |
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F50 系列: 自动化薄膜测绘系统 | F60 系列: 生产环境的自动测绘系统 | |
Filmetrics F50 系列的产品能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度。一个电动R-Theta平台可接受标准和客制化夹盘,样品直径可达450毫米。(耐用的平台在我们的量产系统能够执行数百万次的量测!) 測绘圖案可以是极座標、矩形或线性的,您也可以创造自己的测绘方法,并且不受测量点数量的限制。內建数十种预定义的测绘圖案。
不同的 F50 仪器是根据波长范围来加以区分的。 标准的 F50是的产品。 一般较短的波长 (例如, F50-UV) 可用于测量较薄的薄膜,而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。 | Filmetrics F60-t 系列就像我们的 F50产品一样测绘薄膜厚度和折射率,但它增加了许多用于生产环境的功能。 这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机,以及升级到全自動化晶圆传输的机型。
不同的 F60-t 仪器根据波长范围加以区分。 较短的波长 (例如, F60-t-UV) 一般用于测量较薄的薄膜,而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。
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F3 – XXT 芯片厚度厚度测量仪 先进的测量系统使测量芯片厚度高达3mm,同时保持0.4%误差的准确度。配合系统小于25um的光斑下,可测量高度粗糙和不规则的材料。可容纳从1mm至300mm大小的样品。
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