探针台 Probe Station

术规格：1. 面电阻量测范围： 1 mΩ/sq. to 2 MΩ/sq.(或更高)2. 样品尺寸：支持10mm至300mm wafer3. 量测系统包括：Jandel RM3000测试单元4. 测试精

探针台上，可以按照用户的科研需求，加配磁体，甚至于可以加配3D矢量磁场。加磁体，作为客户化定制的一个方面，现在越来越常见。1/ 可以在低温真空探针台基础上，加配电磁体。2/ 可以在非真空探针台基础上，

自动真空探针台由美国MicroXact公司生产，该探针台通过真空系统、气体压力系统及自动化软件实现对系统真空腔内真空度的精确控制，通过光学显微镜及搭配的数字成像系统实现对测试晶圆影像的捕捉及存储，并通

术规格：1. 支持最大晶圆尺寸：300mm2. X-Y轴移动重复性：+/-1.5mm3. X-Y轴移动分辨率：5 mm4. X-Y轴移动速率：50mm/s5. Z轴移动重复性：+/-1mm，移动分辨率

牌：Ecopia；型号：EPS-1000；EPS-1000为韩国Ecopia的手动探针台型号，适合科研及半导体微电子器件的失效分析。产品规格：- 镀金真空样品吸盘：4", 6", 8" etc；- 样

PS-300是韩国Ecopia公司最畅销的一款手动探针台。尺寸紧凑，适合放置在手套箱、屏蔽箱内使用。高性价比。产品规格：- 镀金真空样品吸盘：4英寸；- 样品尺寸：5x5mm ~ 4英寸；- 显微镜：