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激光干涉仪检测数控机床位置精度
1.测量精度高速度快,稳定性好使用美国高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度...
发布:深圳市中图仪器股份有限公司 更新时间:2015-11-20 浏览次数:2104 -
激光干涉仪测量数控机床回转轴精度
SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器激光双纵模热稳频技术高精度环境补偿模块几何参量干涉光路设计高精度激光干涉信号处理系统高性能计算机控制系统技术,实现各种参数的高精度测量通过激光热稳...
发布:深圳市中图仪器股份有限公司 更新时间:2015-11-21 浏览次数:2107