光学3D表面轮廓仪

1、 高精度、高重复性； 2、 一体化操作的测量分析软件； 3、 精密操纵手柄； 4、 双通道气浮隔振系统；

深圳中图白光干涉仪三维表面轮廓仪隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性.

SuperViewW1白光干涉3d表面轮廓仪在同等放大倍率下，测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。可覆盖8英寸及以下晶圆，定制版真空吸附盘，稳定固定Wafer；气浮隔振+壳体分离式设计...

一是非接触高精密测量，不会划伤甚至破坏工件； 二是测量速度快，不必像探头逐点进行测量； 三是不必作探头半径补正，光点位置就是工件表面测量的位置； 四是对高深宽比的沟槽结构，可以快速而精确的得到理...

非接触式无损检测，一键分析、快速高效

中图仪器SuperView W1非接触式三维表面轮廓仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。适用于各种产品、部件和材...