微反应器制造技术与工艺

材料选择——Si材料

缺点

      硅的脆性对加工是不利的，它的各向异性也会增加力学分析的困难，因为大多常用力学模型都是基于各向同性假设。

加工工艺成熟

      硅是半导体器件制造中Z常使用的材料,它的机电合一特性和优异的传感特性被广泛用来制作各种微传感器、微阀、微马达、微齿轮等,加工工艺成熟

优良机械和物理性能

      弹性模量和钢几乎相同,能更好地保持载荷与变形的线性关系;硅密度约为2.3g/ cm3 ,和铝一样轻;

      熔点为1400℃,约为铝的两倍;硅的热膨胀系数很小,只有铝的十分之一;

      单晶硅的屈服强度可达7.0GPa ,比不锈钢要大三倍;硅具有各向异性,便于进行选择性刻蚀

材料选择——其它常用材料

玻璃

      化学性能稳定,且具有良好的生物兼容性,用它制作的微反应器还有利于观察内部反应，所以玻璃在微反应器中常被广泛用做基片材料

不锈钢

      多用在一些强放热的多相催化微反应器中，对一些尺寸稍大的反应室也可用不锈钢制作,这样加工方便，成本低廉，且易与外部连接。另外不锈钢具有良好的延展性，因而成为反应器或换热器薄片制作的常用材料

陶瓷

      陶瓷因化学性能稳定，抗腐蚀能力强，熔点高，在高温下仍能保持尺寸的稳定，因而在微反应器中常用于高温和强腐蚀的场合，其缺点是耗费时间长,价格昂贵

碳化硅陶瓷材料

      强度高、耐高温、耐腐蚀、抗震性好、导热性好、集成混合、反应、换热多种功能于一体!

加工方法——微细加工技术

湿法蚀刻

微反应器制造技术的适用性评价

适合微反应技术的工艺特征

      精细化学品和功能材料合成中涉及到的常见化学反应类型有氧化反应（硝化反应等）、还原反应（氢化反应等）、Michael加成反应、活泼有机金属化合物参与的反应（格氏反应等）、偶联反应、光化学反应、裂解反应、酯化反应、重排反应以及羟醛缩合反应等。此外，不少功能材料制备时也涉及到许多混合、乳化或其它物理过程。上述的物理、化学工艺过程基本上都具有一个或几个适合用微反应器技术进行工艺改进的特征，如：

1. 快速的强放热反应；

2. 要求快速均匀混和的反应；

3. 要求极ng确控制反应工艺参数（如温度、压力、反应物配比和停留时间等）的 反应；

4. 涉及不稳定中间产物或有后续副反应的反应；

5. 涉及危险化学品或高温高压的反应；

6. 要求工艺稳定性高、可重复性好的反应。