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测量质量流量
无需温度和压力补偿
结构紧凑
精度高
工作压力高
响应时间快
重复性高
linetech质量流量控制器M3030A 核心参数
| 测量范围: | 0-1000slpm | 准确度: | 1% |
| 介质温度: | 50 | 工作压力: | 90bar |
| 管径范围: | 6mm |
详细介绍
一、linetech质量流量控制器产品特点
二、linetech质量流量控制器技术参数
型号 | 质量流量计 | 质量流量控制器 |
流量范围(N2) | 10SCCM~1000SLPM | 10SCCM ~ 300slpm |
响应时间 | <2 sec | <2 sec |
jing准度 | ≤±1% FS | ≤±1% FS |
重复精度 | ±0.25% FS | ±0.25% FS |
输入/输出信号 | 0~5 Vdc OR 4~20 mA | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
供电电源 | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
耐压 | <90bar | 0-30SLPM，<90bar;30-100SLPM,<70bar, 100-300SLPM,<15bar |
工作环境温度 | 0~50 °C | 0~50 °C |
漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec | 1*10E-9 atm cc/sec |
使用范围 | 2 ~ 100% | 2~ 100% |
三、linetech质量流量控制器接口尺寸
产品优势
韩国linetech质量流量控制器耐压90bar，可测量腐蚀性气体，结构紧凑，重复性高，响应时间快，性价比高，可广泛用于设备配套。韩国LINETECH经济型气体质量流量控制器zuida流量可测到300SLPM，质量流量计的zuida流量可测到1000SLPM。
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仪企号
北京汉默科技有限公司
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