真空系统

主要特点  超高真空  液氦温区  新型潘式扫描探头，具备qPlus AFM功能  扫描探头: 模块化设计,易于维护 SPM  具有光学通道，适于光学实验  原位沉积  袖珍型进样室，快速进样 技术参数  本底真空: < 1×10-10 mbar/torr, 保证: 3 × 10-10 mbar  最低工作温度: ≤5K  粗移动范围X/Y/Z : 2.5×2.5×8 mm  低温恒温器容积: 3.8L 液氦, 15L 液氮  反射高能电子衍射: 15KeV 电子枪  MBE样品制备 • 样品变温处理范围: 120K-RT冷却; RT-1450K加热 • 5轴样品运动自由度： 1) X/Y轴，±12.5mm，手动 2) Z轴，50mm，步进电机 3) 自转，±180°，手动 4) 公转，持续旋转，手动  蒸发源: 最多 6个 • 5个 2.75” CF法兰口; • 1个 4.5” CF 法兰口  扫描探针显微镜 • 光耦和兼容 • 新型潘式STM+qPlus AFM探针头 • 扫描范围: 1.7μm×1.7μm×0.85μm @ 4.2K