美国UVOCS 紫外臭氧清洗机

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详细介绍

紫外臭氧清洗，去除无机基材料（如：石英、硅片、金、镍、铝、砷化镓，氧化铝等）上的有机污染物；特别是当基材和薄膜蒸镀需要很好的粘接时，紫外清洗非常理想。要获得超洁净的表面，只需在传统清洗之后，再用紫外臭氧清洗几分钟就可以。

不锈钢结构箱体

应用说明

• 表面的原子级清洗
•去除有机分子
•紫外光固化、表面化学改性
•聚合物粘接、金属粘结准备
•微流控制作、微米/纳米构型
•表面杀菌、表面氧化
•释放捕获的无机分子
•快速－大多数应用10分钟内可完成

臭氧控制系统：

紫外臭氧清洗工作原理

UVO清洗设备的核心是低压石英汞灯，产生254和185nm范围的紫外线。臭氧和等离子氧气产生，有机污染物分子在吸收254nm波长紫外线后被激发或分解；激发的有机污染物可以和等离子氧原子反应形成气体，比如CO₂,等。整个过程在室温发生，并且只需要1到几分钟完成。

紫外光处理表达方式：

紫外臭氧清洗可以去除？
皮肤油脂，有机硅油和油脂，助焊剂，残留的光刻胶，胶水溶剂，碳等。

怎样说是“超”洁净？
接触角测量方法4-5度。适用AES和ESCA测量细微的峰值。使用蒸汽测试，在冷凝和蒸发时形成一致的彩虹装的条纹。

应用说明

功能简介	技术参数
设备结构	坚固耐用，全部不锈钢结构。
UV指示灯	UV"ON"指示灯和可见窗口。
灯泡工作方式	间歇式灯泡工作方式，灯和定时器通过关闭门来触发。
滚珠轴承系统	滑行部件采用托盘式采用平滑低震动滚珠轴承系统-高度到38mm。
低压石英灯	低压石英水银蒸汽灯发射254nm和185nmUV，促进快速氧化，去除微量的有机残留物。
蜂鸣提醒	在操作过程结束时有蜂鸣声。
精准定时器	0-999秒/分钟/小时定时器，能够精确控制，灯和定时器通过门关闭来触发。臭氧排气护罩
臭氧排气护罩	UVO托盘型号有一个臭氧护罩，这会使材料再次污染最小化。一个 76mm排气出口内置在护罩的后面，可以连接到排气系统，最小排气100CFM (立方英尺/分钟)

*注1：白色氧化铝暴露在UV能量下会变黄，这种现象是由于基材吸收UV能量，而不是一种涂层。这种氧化铝在

加热情况下会转化为他原来的颜色。
**注2：清洗元件温度的上升取决清洗过程的时间长度。在大多数应用，元件温度可以视为室温。

设备技术参数