*全自动PCCE控制系统,可存储50套程序。
*根据工艺要求不同,可设定真空泵启动与停止、发生器的功率、反应腔体压强、气体流量与时间等参数
双路工作气体,MFC质量流量计
*反应舱为方形铝制腔体w: 150 mm, h: 160 mm, d: 325 mm带有铰链门,门带有观察窗。
*发生器100 kHz, 0 – 500 W连续可调,反射波自动调节。
电极材质为铝制。
真空泵抽气能力8m3/h
*配有压力传感器,实时显示压力值
电源电压:单相AC230V 16A
自动化: | 手动 |
德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司, 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术**者。Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz 、80KHz、13.56MHz,以及代表等离子应用zui先进技术的2.45GHz的等离子清洗机。
目前设备广泛应用于:等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的zui优质产品,以保证性能技术稳定。
德国diener等离子表面处理设备特点:
等离子清洗机清洗效果好,效率高,应用范围广。
对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求
等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。
射频功率无极连续可调。
高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。
特制电极和托盘结构,可充分利用真空舱体内部空间,使处理效率最大化,同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。
特有的过载、短路和过热保护电路,可保证射频电源的稳定和安全。
设备整体模块化设计,安装与维护极为简单。
德国diener等离子表面处理设备多种系列:
Diener等离子表面处理设备 PICO PCCE 全自动
主要技术参数:
配置清单:
数量 | 备注 | |
主机 | 一台 | Diener PICO |
真空泵(国内采购) | 一台 | VRD-8油泵 |
电源线 | 一根 | 2mm |
操作说明书 | 一本 |
操作面板
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- 品牌分类
- 光刻机/3D打印机/电子束直写仪
- 镀膜沉积系统
- 离子刻蚀与沉积系统
- 匀胶涂覆系统
- 半导体辅助工艺/光刻胶
- 半导体微纳检测仪
- 实验检测仪器
- 太阳能检测仪
- 紫外线UV光清洗/等离子清洗
- 晶圆贴片/贴膜/UV解胶机/晶圆清洗机
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- (英国)英国MML
- (美国)美国Nisene
- (美国)美国VTI
- (美国)美国FEI
- (美国)美国RKD
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